有機ELの蒸着装置に真空リニアサーボモータを導入して品質アップ

有機ELディスプレイの真空蒸着装置はワーク搬送時の速度安定の問題や、その他さまざまな課題がありましたが、真空リニアサーボモータの導入で解決しました。

お客様の
お悩み

真空蒸着装置において、ラック&ピニオンを使ったワーク搬送時の速度不安定の他、騒音、ゴミ、メンテナンスなど課題が多い。

NIKKIの
解決

真空対応ノウハウを活かした真空リニアサーボモータの導入により、騒音の低減や動作の安定性が向上。ムラのない蒸着が可能に。

【課題】真空蒸着装置のワーク搬送時に発生する速度のムラや騒音など、多数の課題を改善したい

有機ELディスプレイの有機溶剤真空蒸着装置において、ワーク搬送にラック&ピニオンを使用しており、移動速度の安定性に問題がありました。ラック&ピニオンは構造が簡単で安価なため導入しやすい反面、金属歯の噛み合わせ部から発生するゴミや騒音、およびそれに伴う頻繁なメンテナンスによる装置停止など、生産性に関わるさまざまな課題がありました。そこで、お客様は真空対応が可能なリニアサーボモータを導入した装置を作りたいということで、真空対応のノウハウが豊富な当社にお問い合わせいただきました。

【提案・解決】真空リニアサーボモータの導入で騒音の低減や動作の安定性が向上

既存のラック&ピニオン方式から真空リニアサーボモータへ変更したことで、騒音の低減や動作の安定性が向上しました。真空リニアサーボモータの導入には、真空条件に耐えられる構造設計や材質の選定など、特殊な技術が必要です。当社が今まで培ってきたノウハウを含めた製品品質と、納品後のきめ細かなフォロー体制が評価されて今回のご成約に至りました。真空条件ならではの具体的な対処として、モータが発熱するため水冷機構の導入や配管の工夫、真空中での変形を防ぐためのねじ止めの工夫、想定を上回る推力要求への対応として運転条件や使用方法のご提案など、詳細な調整とメンテナンスを実施しています。お客様と一緒に装置を作り上げていくという姿勢が、顧客満足度に繋がっていると思います。

採用されたポイント

  • 真空リニアサーボモータの生産効率の良さ
  • 当社が持つ真空リニアサーボモータのノウハウを含めた製品クオリティ
  • 納品後のきめ細かなフォロー体制

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