お客様がご使用中の海外製の真空対応回転機構は、ある問題を抱えていました。当社のビルトインダイレクトドライブモータと自社製エンコーダの組み合わせ提案により、制御性向上と安定供給が可能となりました。
お客様の
お悩み
お悩み
海外製の真空対応回転機構を国産に置き換えたいが、技術的な制約が多いため、課題解決できる国産メーカを探していた。
NIKKIの
解決
解決
当社の既存技術を用いたカスタム製品を提案。磁性流体シールユニットにビルトインDDモータと自社製エンコーダを組み込んだ状態でご提供。
【課題】半導体前工程装置の真空対応回転機構を海外製から国産に置き換えたいが、技術的な難易度が高い
お客様が半導体前工程装置で採用されている海外製の真空対応回転機構は、隔壁を挟み回転体のみに真空導入していましたが、振動など制御性の悪さと調達性の問題を抱えておられました。国内メーカーへの置き換えで問題解決を図ろうとするも、技術的な制約が多い機構であることから、きめ細かなカスタム対応が可能な国産メーカー探しに苦戦されていました。
【提案・解決】当社でユニット化した真空対応DDモータをご提供することで、制御性と調達性が安定
既存の海外製の真空対応回転機構と同じ動作原理を再現しようとすると、当社の開発インパクトが大きくなるため、当社の既存技術を活用したビルトインダイレクトドライブモータと自社製エンコーダの導入をご提案しました。結果としてその案が採用されましたが、お客様側でモータおよびエンコーダの組み立てを行うと、不慣れなために製造品質を確保できないという問題が発生しました。
そこで、お客様には磁性流体シールユニットをご支給いただき、当社工場でビルトインダイレクトドライブモータと自社製エンコーダの組み立てを行うこととしました。これにより、製造品質の問題は解決し、動作原理の違いによる制御性の向上に加え、国内メーカーならではの調達性を確保することができました。
採用されたポイント
- 小回りの利く体制での、こまめなサポート対応
- 自社製エンコーダで柔軟なカスタム対応
- 長年培ってきた真空対応技術
関連製品
ビルトインモータ
カスタム製品対応