ウエハ検査用XYステージ

• 天地逆さま取り付け仕様
• 直角度：2.5μm
• X軸真直度：(垂直)0.8μm、(水平)0.7μm
• Y軸真直度：(垂直)1.2μm、(水平)0.7μm

Xθ2ヘッドステージ

• 平行度：6μm
• 真直度：(垂直)1μm、(水平)3.5μm

動作角度限定アライメントステージ

• 円弧型リニアモータ『サーボコンパス』を搭載
• サーボコンパス
  円弧型マグネットベースの連結で、位置決め動作角度に応じた駆動システムの構築が可能。外周上にエンコーダセンサを取り付けるため、高精度位置決めが可能

プレス送り用高精度X軸ステージ

• ストローク：400mm
• 位置決め精度：0.2μm
• 繰返し位置決め精度：±0.1μm
• 真直度：（垂直)1.5μm、(水平)2.5μm

X軸ガントリステージ＋ガントリ制御システム
Y軸3ヘッドステージ特長

• ガントリ同期精度：サーボロック時 0.1μm
                                      100mm/sec走行時 0.7μm
• 日機電装のガントリ同期制御システム
  同期する2軸を1軸として管理可能な高精度同期制御システム

その他、お客様のご要望に合わせた様々なカスタムメイド対応をしております。
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