NIKKI直线平台的特点

配备直线伺服马达的高精度直线平台。通过与伺服控制技术的融合，实现高精密控制平台

喜开理日机电装的直线平台追求确保平台结构体的刚性、定位精度与速度稳定性，具有平滑、高精度运行的特点。高精度地实现客户所要求的动作。

高精度化的精密加工装置用直线平台

在可实现自动化、省力化的FA装置中，大量应用了定位机构（平台）。其中，作为FA装置之一的精密加工装置，其使用的平台正在向高精度化发展，对加工时的定位精度及速度稳定性要求日益提高。
例如，在激光加工装置中，定位精度对于将钻孔间距控制在1μm误差范围内的要求非常重要。此外，为了减少激光照射不均匀，需要尽可能降低工件移动过程中的速度变动率，以便均匀地向工件提供照射能量，所以低速度变动率是重要的性能。
为了满足这些高度要求，本公司正在进行追求定位精度与速度稳定性的直线平台的开发。

通过提高支撑刚性、运动精度与温控管理来追求定位精度

一般的XY平台大多是将两个单轴平台以直角叠加而成的堆叠结构，上轴基座框架的支撑点比较狭窄，因而存在工作台滑动时因负荷位置变化而导致结构体位移变大的缺点。
与此相对，本公司的XY平台并不是将2个相同的单轴平台叠加在一起的结构，而是通过优化XY的上轴基座框架结构体的支撑点位置，降低了工作台滑动时由负荷位置变化引起的结构体位移。

XY平台支撑结构的差异

提高工作台的运行精度

在高精密加工中，工作台移动时运行轨迹的直线度、相对于设置面的平行度、工作台面的角度变化量指标——俯仰、偏航的姿势精度非常重要。
本公司的直线平台通过确保平台结构体的刚性、优化直动轴承的设置位置、提高直动轴承的装配精度，实现了运行精度的提高。例如，工作台宽度为220mm、动作行程为1000mm的长行程可实现直线度在2μm以下、俯仰和偏航的姿势精度在5arcsec以下。

●工作台直线度（水平方向、垂直方向）

●工作台姿势精度（俯仰、偏航）

降低温度上升

温度上升引起的热膨胀变化也会导致位置精度的变化，成为超精密加工的障碍。作为解决这一问题的对策，我们开发了水冷直线马达，并将其应用于直线平台。

定位精度补偿功能

在平台出货时，会使用激光干涉式测距仪测量定位精度，并通过补偿定位精度使定位精度达到1μm以下。此外，还对应平台设置后的定位精度补偿。

借助充分利用自主开发优势的控制功能，追求速度变动率性能

通过优化磁通等降低扭矩脉冲波动

采用无芯直线马达

例如，在速度10mm/arcsec时，测量采样50hz时的速度变动率，带芯直线马达为±0.25%，而无芯直线马达则可达±0.08%。

无芯、带芯直线马达的速度变动率比较

为伺服驱动器提供用来提高速度变动率的驱动器调整参数

充分活用公司自主开发控制的优势，可以轻易嵌入扭矩脉冲波动补偿功能、反馈滤波器功能等追加功能。

提供客户可立即使用的直线平台，包括对应客制品等

本公司的直线平台标准配备线缆拖链，并在出货时就已进行增益整定，是客户可立即使用平台的产品，由此可大幅省去客户的设计和组装工序。此外，除了丰富的标准产品阵容外，我们还可对应客制品，提供与客户装置完全匹配的直线平台。