半导体前工序装置的真空适配旋转机构由海外制造替换为本公司制造，实现可控性和采购的稳定化

客户正在使用的海外制造的真空适配旋转机构存在某些问题。通过本公司提供的无框直驱马达与自研编码器的组合提案，提高了可控性并确保了稳定供应。

客户的
烦恼

客户希望将海外制造的真空适配旋转机构替换为国产产品，但由于技术限制较多，因此曾在寻找能够解决课题的国产厂家。

NIKKI的
解决方案

我们提出了采用本公司现有技术的客制品方案。在将无框直驱马达和自研编码器装配在磁性流体密封单元上的状态下提供给客户。

【课题】客户希望将半导体前工序装置的真空适配旋转机构从海外制造替换为国产产品，但技术难度较高

客户在半导体前工序装置中采用的海外制造的真空适配旋转机构，仅对夹有隔墙的旋转体部分导入真空，但存在振动等可控性差以及采购稳定性的问题。尽管客户尝试通过替换为日本国内厂家来解决这些问题，但由于该机构在技术上的制约较多，难以找到能够灵活对应客制品的国内厂家，因此面临诸多挑战。

如果试图再现与现有海外制造的真空适配旋转机构相同的工作原理，将会在很大程度上影响本公司的开发，因此我们建议客户导入活用本公司现有技术的无框直接驱动马达和自研编码器。结果,该方案被客户采纳，但由于客户自行组装马达及编码器的不熟练操作，发生了无法确保制造质量的问题。

为解决这一问题，我们请客户提供磁流体密封单元，由本公司工厂负责完成无框直驱马达和自研编码器的组装。通过这一流程，不仅解决了制造质量问题，提高了工作原理不同带来的可控性，还确保了日本国内厂家特有的采购稳定性。