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リニアステージ

高精度τリニアステージ
高精度タイプτリニアステージ製品画像
特長
  • サーボ制御技術との融合により、高性能リニアステージを実現
    速度変動率性能の保証対応
    レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証対応
    ユーザー要求動作仕様の確認と設定対応
  • X/XY/Xθ/XYθリニアステージをラインアップ
    Θ軸には高性能ダイレクトドライブモータを搭載
  • カスタムメイド対応
    お客様の御要求に合わせたリニアステージをご提供
    カスタムメイドの詳細はこちら
  • 位置決め精度校正システム
    τリニアステージをお客様装置に設置後、負荷積載後の測定点にて位置決め精度を保証するシステム
    位置決め精度校正システムの詳細はこちら
  • SSCNETⅢ/H・SSCNETⅢ・MECHATROLINK-Ⅲ・EtherCAT（予定）・CC-Link対応
Xステージ個別仕様
ステージ型式(□部は右から選択)
NST-A□APNA（ジャバラ無し）
NST-A□APJA（ジャバラ付き）		 010A3 020A3 030A3 050A3
010B3 020B3 030B3 050B3
010D2 020D2 030D2 050D2
ステージ有効ストローク mm 100 200 300 500
真直度*1 μm 3 3 5 7
平行度B μm 10 10 15 20
耐荷重*2 kg 200
ジャバラ無し 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm ±5 (5μm時)・±1 (1μm時)・±0.5 (0.5･0.2･0.1･0.05μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*3 μm 10 (5μm時)・2 (1μm時)・1 (0.5･0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm ±0.5 (0.5･0.1μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*3 μm 1 (0.5･0.1μm時)
組合せドライバ型式
VPH NCR-H□ 2401□-B-□□□ 2401□-B-□□□ 2401□-B-□□□ 2401□-B-□□□
VCⅡ NCR-□D□□ A2A-401D A2A-401D A2A-401D A2A-401D
オプション選択項目(機械精度測定オプションご指定時)
姿勢精度　ピッチ、ヨー asec 10 10 15 15
ジャバラ無し 位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm 10 (5μm時)・2 (1･0.5μm時)・1 (0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き μm 1 (0.5･0.1μm時)
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ステージ型式(□部は右から選択)
NST-A□APNA（ジャバラ無し）
NST-A□APJA（ジャバラ付き）		 070A3 100A3 130A3
070B3 100B3 130B3
070D2 100D2 130D2
ステージ有効ストローク mm 700 1000 1300
真直度*1 μm 10 12 15
平行度B μm 25 30 35
耐荷重*2 kg 200
ジャバラ無し 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm ±5 (5μm時)・±1 (1μm時)・±0.5 (0.5･0.2･0.1･0.05μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*3 μm 10 (5μm時)・2 (1μm時)・1 (0.5･0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm ±0.5 (0.5･0.1μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*3 μm 1 (0.5･0.1μm時)
組合せドライバ型式
VPH NCR-H□ 2401□-B-□□□ 2401□-B-□□□ 2401□-B-□□□
VCⅡ NCR-□D□□ A2A-401D A2A-401D A2A-401D
オプション選択項目(機械精度測定オプションご指定時)
姿勢精度　ピッチ、ヨー asec 15 20 25
ジャバラ無し 位置決め精度(エンコーダ分解能)*3 μm 10 (5μm時)・2 (1･0.5μm時)・1 (0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き μm 1 (0.5･0.1μm時)
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  • *1：真直度について、有効ストローク700mm以下は真直度A、1000mm以上は真直度Bでの測定となります。
  • *2：機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等荷重としてください。
  • *3：エンコーダ分解能に依存します。
Xステージ共通仕様
使用周囲温度 22℃±2℃
*上記以外の環境での精度保証はいたしかねます。
*位置決め精度、繰返し位置決め精度、ロストモーションについては、温度22℃一定時においてのみ精度を保証します。
使用周囲湿度 85%以下　結露なきこと
設置場所 腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください。
取付方向*1 テーブル水平上向き、水平下向き*2
美装飾 ベ ー ス ：主に黒色　低温黒色クロム処理
テーブル：主に黒色　低温黒色クロム処理
その他特記無きものは、適宜防錆処理を施します。
標高 1000m以下
  • *1：壁掛け使用等の場合は、弊社営業員までお問い合わせください。
  • *2：下向き設置時には、リニアガイド破損時の落下防止装置を設置してください。
           リニアガイドが破損すると、テーブルがレールから脱落します。
XYステージ個別仕様
ステージ型式(□部は右から選択)
NST-D□APNA(ジャバラ無し)
NST-D□APJA(ジャバラ付き・ケーブルキャリア中型)
NST-D□APJB(ジャバラ付き・ケーブルキャリア大型)		 10B3/10A3 20B3/20A3 25B4/25A4 30B4/30A4
X/Y軸 X Y X Y X Y X Y
ステージ有効ストローク mm 100 100 200 200 250 250 300 300
真直度A μm 3 3 3 3 5 5 5 5
直角度A μm 3 5 10 10
平行度B μm 15 15 15 15
耐荷重*1 kg 50 100
ジャバラ無し 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*2 μm ±5 (5μm時)・±1 (1μm時)・±0.5 (0.5・0.1・0.05μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*2 μm 10 (5μm時)・2 (1μm時)・1 (0.5・0.1・0.05μm時)
ジャバラ付き 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能)*2 μm ±0.5 (0.5･0.1μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能)*2 μm 1 (0.5･0.1μm時)
組合せドライバ型式
VPH NCR-H□ 2401□-B-□□□(X軸),
2401□-B-□□□(Y軸)		 2401□-B-□□□(X軸),
2401□-B-□□□(Y軸)		 2801□-B-□□□(X軸),
2401□-B-□□□(Y軸)		 2801□-B-□□□(X軸),
2401□-B-□□□(Y軸)
VCⅡ NCR-□D□□ A2A-401D(X軸),
A2A-401D(Y軸)		 A2A-401D(X軸),
A2A-401D(Y軸)		 A2A-801D(X軸),
A2A-401D(Y軸)		 A2A-801D(X軸),
A2A-401D(Y軸)
オプション選択項目(機械精度測定オプションご指定時)
姿勢精度　ピッチ、ヨー asec 15 15 15 15 15 15 15 15
ジャバラ無し 位置決め精度(エンコーダ分解能)*2 μm 10 (5μm時)・2 (1･0.5μm時)・1 (0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き μm 1 (0.5･0.1μm時)
外形図ダウンロードはこちら
ステージ型式(□部は右から選択)
NST-D□APNA（ジャバラ無し）
NST-D□APJA(ジャバラ付き・ケーブルキャリア中型)
NST-D□APJB(ジャバラ付き・ケーブルキャリア大型)		 35B4/35A4 50B5/40A5 60B5/45A5
X/Y軸 X Y X Y X Y
ステージ有効ストローク mm 350 350 500 400 600 450
真直度A μm 5 5 10 10 15 15
直角度A μm 10 15 25
平行度B μm 15 25 25
耐荷重*1 kg 100
ジャバラ無し 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能) μm ±5 (5μm時)・±1 (1μm時)・±0.5 (0.5・0.1・0.05μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能) μm 10 (5μm時)・2 (1μm時)・1 (0.5・0.1・0.05μm時)
ジャバラ付き 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能) μm ±0.5 (0.5･0.1μm時)
ロストモーション(エンコーダ分解能) μm 1 (0.5･0.1μm時)
組合せドライバ型式
VPH NCR-H□ 2801□-B-□□□(X軸),
2401□-B-□□□(Y軸)		 2801□-B-□□□(X軸),
2801□-B-□□□(Y軸)		 2801□-B-□□□(X軸),
2801□-B-□□□(Y軸)
VCⅡ NCR-□D□□ A2A-801D(X軸),
A2A-401D(Y軸)		 A2A-801D(X軸),
A2A-801D(Y軸)		 A2A-801D(X軸),
A2A-801D(Y軸)
オプション選択項目(機械精度測定オプションご指定時)
姿勢精度　ピッチ、ヨー asec 15 15 20 20 20 20
ジャバラ無し 位置決め精度(エンコーダ分解能)*2 μm 10 (5μm時)・2 (1･0.5μm時)・1 (0.2･0.1･0.05μm時)
ジャバラ付き μm 1 (0.5･0.1μm時)
外形図ダウンロードはこちら
  • *1：機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等過重としてください。
  • *2：エンコーダ分解能に依存します。
XYステージ共通仕様
使用周囲温度 22℃±2℃
*上記以外の環境での精度保証はいたしかねます。
*位置決め精度、繰返し位置決め精度、ロストモーションについては、温度22℃一定時においてのみ精度を保証します。
使用周囲湿度 85%以下　結露なきこと
設置場所 腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください。
取付方向 テーブル水平上向き
美装飾 X軸：主に黒色。
ベース：低温黒色クロム処理
Y軸：主に黒色。
　ベース：低温黒色クロム処理
テーブル：黒アルマイト処理
その他特記無きものは、適宜防錆処理を施します。
*美装は主に黒色、白色の混成色となります。
標高 1000m以下
Xステージ型式
型式表
XYステージ型式
型式表
取扱説明書 カタログ 動画 型式説明 仕様 特長

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