♦ スタンダードタイプND-sシリーズとの剛性比較
スクライバー/FPD貼り合わせ装置/スクリーン印刷機/FPD検査装置/ウエハダイシング装置/パッケージング装置/ ウエハ加工装置/ウエハ検査装置/X線分析装置/PE印刷機/精密加工装置・測定装置/ダイカストマシン
モータタイプ | DD160-96-LS(P5/P3) | DD160-105-FS(P5/P3) | DD160-146-LS(P5/P3) | |||
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フランジレス | フランジ付 | フランジレス | ||||
型式*1 | DD16- | 251L04□NN(-P/-P3) | 251F04CNN(-P/-P3) | 681L04□NN(-P/-P3) | ||
使用電源 | ACV | 200 | 200 | 200 | ||
外径 | mm(φ) | 160 | 160 | 160 | ||
高さ | mm | 96(標準仕様)/95.8(高精度仕様) | 105(標準仕様)/104.8(高精度仕様) | 146(標準仕様)/145.8(高精度仕様) | ||
定格トルク | N・m | 10 | 10 | 27 | ||
最大トルク | N・m | 23 | 23 | 62.5 | ||
エンコーダタイプ | インクリメンタル / アブソリュート(1回転) | アブソリュート(1回転) | インクリメンタル / アブソリュート(1回転) | |||
検出パルス | ppr | 3,200,000(INC) /2,097,152(ABS) | 6,815,744 | 3,200,000(INC) /2,097,152(ABS) | ||
定格回転数 | rps | 4 | 4 | 4 | ||
絶対精度 | 秒 | ±50(標準仕様)/±10(オプション) | ||||
繰返し位置決め精度(往復動作時) | 秒 | ±1 | ||||
許容モーメント荷重*2 | N・m | 280 | 280 | 280 | ||
許容アキシャル荷重*2 | kN | 22.5 | 22.5 | 22.5 | ||
ラジアル振れ(無負荷)*3 | μm | 30(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
アキシャル振れ(無負荷)*3 | μm | 30(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
平行度*4 | μm | 40(標準仕様) /20(平行度加工仕様) |
50(標準仕様) /20(平行度加工仕様) |
40(標準仕様) /20(平行度加工仕様) |
||
ロータ慣性モーメント | kg・㎡ | 0.0058 | 0.0058 | 0.0074 | ||
質量 | kg | 8.2 | 7.3 | 13.5 | ||
組合せドライバ型式 | ||||||
VPH | NCR-H□ | 2401□-A-□□□ | 2401□-A-□□□ | 2801□-A-□□□ | ||
VCⅡ | NCR-□D□□ | A2A-401J | A2A-401J | A2A-801J |
モータタイプ | DD250-90-LS(P5/P3) | DD250-138-LS(P5/P3) | DD250-163-LS(P5/P3) | |||
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フランジレス | フランジレス | フランジレス | ||||
型式*1 | DD25- | 521L02□NN(-P/-P3) | 102L02□NN(-P/-P3) | 152L02□NN(-P/-P3) | ||
使用電源 | ACV | 200 | 200 | 200 | ||
外径 | mm(φ) | 265 | 265 | 265 | ||
高さ | mm | 90(標準仕様)/89.8(高精度仕様) | 138(標準仕様)/137.8(高精度仕様) | 163(標準仕様)/162.8(高精度仕様) | ||
定格トルク | N・m | 42 | 80 | 120 | ||
最大トルク | N・m | 100 | 190 | 300 | ||
エンコーダタイプ | インクリメンタル / アブソリュート(1回転) | インクリメンタル / アブソリュート(1回転) | インクリメンタル / アブソリュート(1回転) | |||
検出パルス | ppr | 6,300,000(INC) / 6,815,744(ABS) | 6,300,000(INC) / 6,815,744(ABS) | 6,300,000(INC) / 6,815,744(ABS) | ||
定格回転数 | rps | 2 | 2 | 2 | ||
絶対精度 | 秒 | ±50(標準仕様)/±10(オプション) | ||||
繰返し位置決め精度(往復動作時) | 秒 | ±1 | ||||
許容モーメント荷重*2 | N・m | 315 | 450 | 450 | ||
許容アキシャル荷重*2 | kN | 22.5 | 30 | 30 | ||
ラジアル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
アキシャル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
平行度*4 | μm | 60(標準仕様)/20(平行度加工仕様) | ||||
ロータ慣性モーメント | kg・㎡ | 0.04 | 0.08 | 0.105 | ||
質量 | kg | 20 | 34 | 42 | ||
組合せドライバ型式 | ||||||
VPH | NCR-H□ | 2801□-A-□□□ | 2152□-A-□□□ | 2152□-A-□□□ | ||
VCⅡ | NCR-□D□□ | A2A-801J | A2A-152J | A2A-152J |
モータタイプ | DD400-150-LS(P5/P3) | DD400-200-LS(P5/P3) | DD400-250-LS(P5/P3) (1.5rps仕様) |
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フランジレス | フランジレス | フランジレス | ||||
型式*1 | DD40- | 322L02CNN(-P/-P3) | 622L02CNN(-P/-P3) | 702L01CNN(-P/-P3) | ||
使用電源 | ACV | 200 | 200 | 200 | ||
外径 | mm(φ) | 420 | 420 | 420 | ||
高さ | mm | 150(標準仕様)/148.8(高精度仕様) | 200(標準仕様)/199.8(高精度仕様) | 250(標準仕様)/249.8(高精度仕様) | ||
定格トルク | N・m | 260 | 500 | 750 | ||
最大トルク | N・m | 650 | 1250(1,000)*5 | 1750(1390)*7 | ||
エンコーダタイプ | アブソリュート(1回転) | アブソリュート(1回転) | アブソリュート(1回転) | |||
検出パルス | ppr | 6,815,744 | 6,815,744 | 6,815,744 | ||
定格回転数 | rps | 2 | 2 | 1.5 | ||
絶対精度 | 秒 | ±50(標準仕様)/±10(オプション) | ||||
繰返し位置決め精度(往復動作時) | 秒 | ±1 | ||||
許容モーメント荷重*2 | N・m | 2000 | 2000 | 3000 | ||
許容アキシャル荷重*2 | kN | 44 | 44 | 55 | ||
ラジアル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
アキシャル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
平行度*4 | μm | 100(標準仕様)/20(平行度加工仕様) | ||||
ロータ慣性モーメント | kg・㎡ | 0.402 | 0.648 | 0.915 | ||
質量 | kg | 76 | 109 | 140 | ||
組合せドライバ型式 | ||||||
VPH | NCR-H□ | 2332□-A-□□□ | 2702□-A-□□□ | 2153□-A-□□□,(2702□-A-□□□) *7 | ||
VCⅡ | NCR-□D□□ | A2B-402J | A2A-113J,(A2A-752J)*5 | A2A-153J | ||
電力回生型 | NCR-□D□□ | - | A2A-113J | A2A-153J |
モータタイプ | DD400-250-LS(P5/P3) (1rps仕様)*6 |
DD400-250-LS(P5/P3) (2rps仕様)*6 |
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フランジレス | フランジレス | |||||
型式*1 | DD40- | 472L01CNN(-P/-P3) | 942L02CNN(-P/-P3) | |||
使用電源 | ACV | 200 | 200 | |||
外径 | mm(φ) | 420 | 420 | |||
高さ | mm | 250(標準仕様)/249.8(高精度仕様) | 250(標準仕様)/249.8(高精度仕様) | |||
定格トルク | N・m | 750 | 750 | |||
最大トルク | N・m | 1700 | 1650 | |||
エンコーダタイプ | アブソリュート(1回転) | アブソリュート(1回転) | ||||
検出パルス | ppr | 6,815,744 | 6,815,744 | |||
定格回転数 | rps | 1 | 2 | |||
絶対精度 | 秒 | ±50(標準仕様)/±10(オプション) | ||||
繰返し位置決め精度(往復動作時) | 秒 | ±1 | ||||
許容モーメント荷重*2 | N・m | 3000 | 3000 | |||
許容アキシャル荷重*2 | kN | 55 | 55 | |||
ラジアル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
アキシャル振れ(無負荷)*3 | μm | 40(標準仕様)/5(高精度仕様)/3(高精度仕様) | ||||
平行度*4 | μm | 100(標準仕様)/20(平行度加工仕様) | ||||
ロータ慣性モーメント | kg・㎡ | 0.915 | 0.915 | |||
質量 | kg | 140 | 140 | |||
組合せドライバ型式 | ||||||
VPH | NCR-H□ | 2702□-A-□□□ | 2153□-A-□□□ | |||
VCⅡ | NCR-□D□□ | A2A-752J | A2A-153J | |||
電力回生型 | NCR-□D□□ | A2A-752J | A2A-153J |
モータタイプ | DD630-175-LS(P10/P5) | DD630-225-LS(P10/P5) | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
フランジレス | フランジレス | |||||
型式*1 | DD63- | 842L01HNN(-P/-P5) | 123L01HNN(-P/-P5) | |||
使用電源 | ACV | 200 | 200 | |||
外径 | mm(φ) | 663 | 663 | |||
高さ | mm | 175(標準仕様)/174.8(高精度仕様) | 225(標準仕様)/224.8(高精度仕様) | |||
定格トルク | N・m | 1350 | 2000 | |||
最大トルク | N・m | 2500 | 3700 | |||
エンコーダタイプ | アブソリュート(1回転) | アブソリュート(1回転) | ||||
検出パルス | ppr | 12,582,912 | 12,582,912 | |||
定格回転数 | rps | 1 | 1 | |||
絶対精度 | 秒 | ±50(標準仕様)/±10(オプション) | ||||
繰返し位置決め精度(往復動作時) | 秒 | ±1 | ||||
許容モーメント荷重*2 | N・m | 7000 | 7000 | |||
許容アキシャル荷重*2 | kN | 100 | 100 | |||
ラジアル振れ(無負荷) | μm | 100(標準仕様)/10(高精度仕様)/5(高精度仕様) | ||||
アキシャル振れ(無負荷) | μm | 100(標準仕様)/10(高精度仕様)/5(高精度仕様) | ||||
平行度 | μm | 200 | ||||
ロータ慣性モーメント | kg・㎡ | 4.3 | 5.2 | |||
質量 | kg | 231 | 290 | |||
組合せドライバ型式 | ||||||
VPH | NCR-H□ | 2702□-A-□□□ | 2153□-A-□□□ | |||
VCⅡ | NCR-□D□□ | A2A-113J | A2A-153J | |||
電力回生型 | NCR-□D□□ | A2A-113J | A2A-153J |
使用周囲温度 | 0~40℃ |
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使用周囲湿度 | 85%以下 結露なきこと |
設置場所 | 腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください。 |
標高 | 1000m以下 |
取付方向 | 回転部水平上下向き*1 |
冷却方式 | 自然空冷 |
絶縁階級 | F種 |
絶縁耐圧 | AC1500V、1分間 |
保護等級 | IP44 |
耐振動 | 1G(3方向 各2H) |
耐衝撃 | 30G(3方向 各3回) |
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