반도체 전 공정 장치의 진공 대응 회전 기구를 해외 제품에서 당사 제품으로 교체하여 제어성과 조달의 안정화를 실현

고객이 사용 중인 해외 제조 진공 대응 회전 기구는 어떤 문제를 안고 있었습니다. 당사의 빌트인 다이렉트 드라이브 모터와 자사 제조 엔코더의 조합 제안을 통해 제어성 향상과 안정 공급이 가능해졌습니다.

【과제】 반도체 전 공정 장치의 진공 대응 회전 기구를 해외 제품에서 일본 국산으로 교체하고 싶은데 기술적 난이도 높다

고객이 반도체 전 공정 장치로 채택하고 있는 해외 제조 진공 대응 회전 기구는 격벽을 사이에 두고 회전체에만 진공 도입을 하고 있었지만, 진동 등 제어성이 나쁜 것과 조달성의 문제를 안고 있었습니다. 일본 국내 제조사로 교체하여 문제 해결을 도모하려고 해도 기술적인 제약이 많은 기구이므로 세심한 커스텀 대응이 가능한 일본 국산 제조사를 찾는 데 고전하고 있었습니다.

【제안ㆍ해결】 당사에서 유닛화한 진공 대응 DD 모터를 제공하여 제어성과 조달성이 안정

기존의 해외 제조 진공 대응 회전 기구와 동일한 동작 원리를 재현하려고 하면 당사의 개발 임팩트가 커지므로 당사의 기존 기술을 활용한 빌트인 다이렉트 드라이브 모터와 자사 제조 엔코더 도입을 제안했습니다. 결과적으로 그 제안이 채택되었지만, 고객 측에서 모터 및 엔코더를 조립하게 되면 익숙하지 않아 제조 품질을 확보할 수 없는 문제가 발생했습니다.

그래서 고객에게는 자성 유체 실 유닛을 지급하고 당사 공장에서 빌트인 다이렉트 드라이브 모터와 자사 제조 엔코더를 조립하기로 했습니다. 이에 따라 제조 품질 문제는 해결하고 동작 원리의 차이에 의한 제어성 향상에 더해 일본 국내 제조사만이 가능한 조달성을 확보할 수 있었습니다.

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